Матвийкив Михаил Дмитриевич. Исследование паразитных деформационных эффектов, возникающих в производстве и эксплуатации пленочных элементов интегральных устройств : Дис... д- ра техн. наук: 05.12.13; 05.27.01 / Государственный ун-т "Львовская политехника". — Л., 1996. — 282л. — Бібліогр.: л. 260-282.
|