Ніконов Андрій Юрійович. Технологія одержання кремнієвих приладових структур підвищеної якості з використанням високоенергетичних джерел випромінювання і відновлюваних термообробок.- Дисертація канд. техн. наук: 05.27.06, Кременчуц. нац. ун-т ім. Михайла Остроградського. - Кременчук, 2014.- 200 с.
|