Даниленко Світлана Григорівна. Розробка травильних композицій та технологічних процесів формування полірованих поверхонь підкладок арсеніду та антимоніду індію для приладів ІЧ- техніки: Дис... канд. техн. наук: 05.27.06 / НАН України; Інститут фізики напівпровідників. - К., 2000. - 198 арк. - Бібліогр.: арк. 175-186.
|