Сєдін Євген Олександрович. Розробка технології виробництва кремнієвих одношарових епітаксійних структур з покращеними структурними характеристиками.- Дисертація канд. техн. наук: 05.27.06, Кременчуц. нац. ун-т ім. Михайла Остроградського. - Кременчук, 2012.- 200 с.
|