Підлипний Юрій Васильович. Розробка моделей, методів та алгоритмів діагностики технологічних процесів виготовлення ІС : Дис... канд. техн. наук: 05.13.05 / Державний ун-т "Львівська політехніка". — Львів, 1996. — 197л.