Данчишин Ігор Васильович. Розробка методів та засобів забезпечення технологічності МОН-структур мікроелектронних пристроїв в умовах автоматизованого виробництва: Дис... канд. техн. наук: 05.27.01 / Державний ун-т "Львівська політехніка". - Л., 1999. - 192 арк. - Бібліогр.: арк. 165-179.
|