Халед Ибрагим Мохаммад Аль Шебуль. Разработка и исследование технологического процесса лазерного разделения полупроводниковых пластин на элементы: Дис... канд. техн. наук: 05.03.07 / Национальный технический ун-т Украины "Киевский политехнический ин-т". - К., 2000. - 130 л. - Бібліогр.: л. 121-130.
|