Матвийкив Олег Михайлович. Разработка моделей и методов газофазного осаждения в узлах сложной формы для технологических САПР РЭС : Дис...канд. техн. наук: 05.13.05 / Санкт- Петербургский электротехнический ун-т. — СПб., 1995. — 238с.