Семикина Татьяна Викторовна. Получение и исследование кремниевых структур с алмазными и алмазоподобными пленками: Дис... канд. техн. наук: 05.27.01 / Национальный технический ун-т Украины "Киевский политехнический ин-т". - К., 2001. - 181л. - Библиогр.: л. 169-179.
|