У роботі отримав подальший розвиток принцип модуляції міжелектродного зазора керованих п’єзорезонансних коливальних систем з метою покращання характеристик відомих пристроїв частотних вимірювальних перетворень і розширення функційних можливостей цих систем застосуванням в сучасних пристроях радіозв’язку з ЧМ шляхом зменшення зазора до мікронних розмірів і досягнення, завдяки цьому, можливості реалізації механізму електростатичного (електромеханічного) керування. Найбільш важливими науковими і практичними результатами, отриманими в роботі, є: для підвищення вірогідністі моделювання керованої п’єзорезонансної коливальної системи, яка входить до складу частотномодульованої автоколивальної системи, розроблено поширену еквівалентну схему, що враховує вплив елементів компенсації, корекції, паразитних елементів та елементів комплексного навантаження і створено її математичну модель; шляхом моделювання, без обмежень на величину зазора, показано, що ціною суттєвого зниження еквівалентної добротності (у 3…4 рази) може бути вирішена задача зниження нелінійності частотної характеристики керування до рівня 0,1% застосуванням корегуючої котушки, індуктивність якої визначена розробленим алгоритмом; вперше встановлено компандуючу властивість модуляційної характеристики за „-законом” () і „-законом” (), що дозволяє відмовитись як від додаткових елементів лінеаризації, так і від попередньої компресії модулюючого сигнала; запропоновано два метода зниження величини ESR до рівня узгодженості з параметрами сучасних ІМС (не більш 150 Ом) раціональним вибором значень корегуючої індуктивності і компенсуючої, доведена більша ефективність другого метода; доведені можливості зниження ESR і лінеаризації частотної характеристики керування застосуванням режима мікропереміщень ()мкм і встановлені критичні параметри навантаження (кОм, пФ); обгрунтована можливість електромеханічного керування рухомим електродом керованого MEMS-мікроконденсатора при малих напругах (В) і доцільність інтегрування його в конструкцію коливальної системи; на базі теоретичного аналізу стійкості руху рухомого електрода встановлено, що біфуркаційним значенням переміщення є і аналітично визначено значення біфуркаційної керуючої напруги (для електроду розміром мкм2, зазором мкм і пружнього підвісу з матеріалу poly0 воно складає 8,5В); вперше запропонована конструкція матричного рухомого електроду, який складений з матриці мікроконденсаторів з незалежним керуванням, що дає можливість однорівневого і багаторівневого керування цим електродом; розроблено алгоритм побудови двох характеристик керування: модуляційної характеристики () і комутаційної характеристики (), визначено, що обернена має властивість компандування (, ), а є майже лінійна, що забезпечує спроможність відображувати потрібний закон зміни частоти практично без потворень, наведено приклади реалізації гармонічного закону і 2GFSK з ; розроблено конструктивну базу практичної реалізації кварцових частотних модуляторів, які функціонують у режимі мікропереміщень, наведено приклади побудови модулятору з матричним електродом елементів на базі п’єзоелемента з обернутою мезаструктурою, двох частотних вимірювальних перетворювачів, які захищені патентами України, а також системи збору і передачі даних по каналу стандарту ISM. |