Семенов Олександр Володимирович. Фізико-технологічні основи синтезу та модифікації плівок нанокристалічного карбіду кремнію.- Дисертація д-ра техн. наук: 05.02.01, Нац. акад. наук України, Ін-т монокристалів. - Х., 2013.- 250 с.