Максимович Людмила Петровна. Фазовый состав, структура и свойства моно- и биметаллических тонкопленочных слоев тугоплавких металлов на кремнии : Дис... канд. техн. наук: 05.16.01 / Национальный технический ун-т Украины "Киевский политехнический ин-т". — К., 1996. — 125с.